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商品編號:74104
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PLUTOVAC中小型多功能等離子清洗機Pluto-30

價    格:詢價

產    地:上海更新時間:2019/7/22 11:54:37

品    牌:PLUTOVAC型    號:Pluto-30

狀    態:正常點擊量:158

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上海沛沅儀器設備有限公司

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PLUTOVAC中小型多功能等離子清洗機Pluto-30 核心參數

  • 功率

    <600W、 <500W、



Pluto30是專為研發而設計的全功能等離子體系統,13.56MHz射頻發生器和自動匹配網絡電源在整個過程區域產生均勻的等離子體。Pluto 30的真空腔可支持多達7個可調節樣品架,以容納各種形狀尺寸的樣品。Pluto30具有多種電極設置,可配置成RIEPECVD模式,從而擴大了該系統的應用范圍,提供給用戶無與倫比的靈活性。



特征及優勢

專利氣體輸送系統,提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置

獨特的射頻系統提供卓越的工藝重復性和處理效率

全自動處理能力

圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅動流程并提供實時流程信息

臺式設計需要較小的占地面積

?

?

典型應用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性:預壓模粘合;預焊線粘合

增強表面膠體流動性:預成型;預倒裝芯片下溢


表面粗糙度和蝕刻

降低表面應力,改善表面粘結性

灰化和表面清潔

?

Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)

電介質/III-IV材料

?

納米涂層(配備液體前體輸送裝置)

耐水納米涂層:印刷電路板表面處理

防腐納米涂層:醫療器械,醫療植入物




產品參數

Pluto30參數

腔體

腔體尺寸

300W x 280H x 366Dmm

容量

30L

電極數量

最多可達7

電極

電極間隙

48mm

功率電極尺寸

226W x 210D mm

接地電極尺寸

260W x 210D mm

射頻系統

射頻功率和頻率

300W/13.56MHz

氣體控制

MFC控制器

標配1MFC,最多4MFC控制器

系統控制

7寸工業觸控屏

全數字控制,實時顯示工作狀況,可設定操作權限和各種報警值,可儲存工藝方案

真空泵系統

油泵

32m3/h

功率

220V/10A50Hz,單相,3

尺寸

外形尺寸

706W x 804D x 735H mm

特別裝置

需求

工藝氣體

0.25英寸. 氣管快接.適用于?15-20psig;

凈化氣

0.25英寸. 氣管快接. 適用于10-100psig

CDA

0.25英寸. 氣管快接. 適用于60-90psig

排氣接口

KF40

可選項

液體前驅體輸送系統

500W/13.56MHz射頻系統

37m3/h 干泵

排氣洗滌器

油霧消除器

?



產品介紹

PLUTO-30 等離子體材料表面處理系統


中小型?量產級?多功能



PLUTOVAC中小型多功能等離子清洗機特征及優勢

專利氣體輸送系統,提供氣體分配均勻性和靈活的氣體分配方法

不同工藝模式(RIE、下游等離子體等)的柔性電極配置

獨特的射頻系統提供卓越的工藝重復性和處理效率

全自動處理能力

圖形用戶界面支持配方編輯器、配方驅動流程并提供實時流程信息

臺式設計需要較小的占地面積

?

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PLUTOVAC中小型多功能等離子清洗機Pluto-30典型應用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性:預壓模粘合;預焊線粘合

增強表面膠體流動性:預成型;預倒裝芯片下溢


表面粗糙度和蝕刻

降低表面應力,改善表面粘結性

灰化和表面清潔

?

Plasma等離子蝕刻(配備RIE配置)

電介質/III-IV材料

?

納米涂層(配備液體前體輸送裝置)

耐水納米涂層:印刷電路板表面處理

防腐納米涂層:醫療器械,醫療植入物





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